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技术文章 / ARTICLE
参考距离:3mm |
测量范围:±0.75mm |
光斑直径:Φ17μm |
测量角度:±12° |
静态噪声*2:150nm |
线性误差:<±0.75μm |
横向分辨率:8.5μm |
外径*长度:φ3.8*85mm |
重量:约20g |
最小可测厚度:10% of F.S. |
温度特征:<0.03% of F.S./℃ |
防护等级:IP40 |
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